吕学超
,
鲜晓斌
,
汪小琳
中国腐蚀与防护学报
研究了偏压镀、循环氩离子轰击镀和间歇式镀对铀上铝镀层 组织及防腐蚀性能的影响.结果表明,3种离子轰击镀方法对铝镀层的组织产生强烈影响,且 组织的致密程度与其防腐蚀性能呈现了较好的一致性.在-100 V、-200 V和-500 V偏压条件 下,镀层组织致密、防腐蚀性好;在-300 V偏压下,镀层的致密性和防腐蚀性均差,未加偏压(0 V) 的次之;循环氩离子轰击镀和间歇式镀对提高镀层的致密性和防腐蚀性更为显著.离子轰击镀 沉积的铝镀层均可不同程度地为铀提供好的保护效果.
关键词:
离子轰击镀
,
coatings
,
microstructure
,
corrosion resi stance
徐幸梓
,
刘天模
,
曾丁丁
,
张兵
,
刘凤艳
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.045
由于金刚石与Si有较大的表面能差,利用化学气相沉积(CVD)制备金刚石膜时,金刚石在镜面光滑的Si表面上成核困难,而负衬底偏压能够增强金刚石在镜面光滑Si表面上的成核,表明金刚石核与Si表面的结合力也得到增强.本文分析衬底负偏压引起的离子轰击对Si表面产生的影响之后,基于离子轰击使得Si衬底表面产生了微缺陷(凹坑)增大了金刚石膜与Si衬底结合的面积,理论研究了离子轰击对金刚石膜与Si衬底结合力的影响.
关键词:
金刚石膜
,
离子轰击
,
凹坑
,
结合力
